（1）床身为天然大理石，结构稳定、刚性好、精度高、可靠性强；

（2）三直线轴均采用直线电机，动态响应快，定位精度高；

（3）两旋转轴采用高精度力矩电机；

（4）直线轴和旋转轴均采用闭环控制；

（5）直线轴采用直线滚动导轨，摩擦系数低，响应速度快；

（6）光路采用模块化设计。并配置CCD定位相机和高精度探针。